Chip-Dominanz: China hat es geschafft, die EUV-Maschinen von ASML nachzubauen

Ohne sie geht gar nichts in der Welt der Chips, also auch nicht bei KI: Die Lithographie-Maschinen von ASML ( so genannte EUVs, also Extreme Ultra Violet) ermöglichen Chips im Nanometerbereich erst, weil sie extrem kurzwelliges UV-Licht mithilfe von speziellen Spiegeln auf einen Silizium-Wafer projizieren, um dort winzige, hochkomplexe Schaltkreisstrukturen im Nanometerbereich abzubilden.

EUVs von ASML gelten bisher als der Schlüssel zur Chip-Dominanz. Und dieser Schlüssel ist nun in chinesische Hände geraten. Denn in einem Hochsicherheitslabor in Shenzhen steht jetzt ein EUV-Prototyp, der Washington den Schlaf rauben dürfte: eine Maschine, die jene hochmodernen Halbleiter-Chips produzieren kann, die künstliche Intelligenz, Smartphones und Waffensysteme antreiben. Chinesische Wissenschaftler haben vollbracht, was die USA jahrelang zu verhindern versuchten – sie replizieren Technologie, die bisher ausschließlich dem Westen vorbehalten war.

Der Prototyp füllt fast eine gesamte Fabrikhalle. Fertiggestellt Anfang 2025 und mittlerweile in der Testphase, entwickelte ihn ein Team ehemaliger Ingenieure des niederländischen Halbleiter-Riesen ASML durch Reverse Engineering von dessen EUVs. Das berichten zwei Personen mit Kenntnis des Projekts gegenüber Reuters.

EUV: Das Herzstück des Tech-Kriegs

EUV-Maschinen stehen im Zentrum eines technologischen Kalten Kriegs. Sie nutzen Strahlen aus extremem Ultraviolettlicht, um Schaltkreise zu ätzen, die tausendmal dünner sind als ein menschliches Haar. Je kleiner die Schaltkreise, desto leistungsfähiger die Chips – und derzeit monopolisiert der Westen diese Fähigkeit komplett.

Chinas Maschine ist betriebsbereit und erzeugt erfolgreich extremes Ultraviolettlicht, hat aber noch keine funktionierenden Chips produziert. Im April erklärte ASML-CEO Christophe Fouquet noch, China würde „viele, viele Jahre“ benötigen, um solche Technologie zu entwickeln. Die Existenz dieses Prototyps – über die hier erstmals berichtet wird – legt nahe, dass China der Halbleiter-Unabhängigkeit Jahre näher sein könnte als von Analysten erwartet.

Bisher beherrscht nur ein Unternehmen die EUV-Technologie: ASML mit Hauptsitz im niederländischen Veldhoven. Seine Maschinen kosten rund 250 Millionen Dollar und sind unverzichtbar für die Herstellung modernster Chips von Nvidia und AMD, produziert von Chipherstellern wie TSMC, Intel und Samsung. ASML baute seinen ersten funktionsfähigen EUV-Prototyp 2001 – es dauerte fast zwei Jahrzehnte und Milliarden Euro F&E-Ausgaben, bis 2019 die ersten kommerziell verfügbaren Chips entstanden.

Von Exportkontrollen zu Exportverboten

Ab 2018 setzte die USA die Niederlande unter Druck, ASML vom Verkauf von EUV-Systemen an China abzuhalten. Die Restriktionen wurden 2022 massiv ausgeweitet, als die Biden-Administration umfassende Exportkontrollen verhängte, um Chinas Zugang zu fortschrittlicher Halbleitertechnologie abzuschneiden. Die Kontrollen zielten nicht nur auf EUV-Systeme, sondern auch auf ältere Deep-Ultraviolet-Lithografie-Maschinen (DUV) – mit dem Ziel, China mindestens eine Generation in der Chipfertigung zurückzuhalten.

Das US-Außenministerium teilt mit, die Trump-Administration habe die Durchsetzung von Exportkontrollen für fortschrittliche Halbleiter-Fertigungsausrüstung verschärft und arbeite mit Partnern zusammen, „um Schlupflöcher zu schließen, während die Technologie voranschreitet“.

ASML reagierte diplomatisch: „Es macht Sinn, dass Unternehmen unsere Technologie nachbilden wollen, aber das ist keine kleine Leistung“, erklärt das Unternehmen in einer Stellungnahme. ASMLs EUV-Systeme sind derzeit für US-Verbündete wie Taiwan, Südkorea und Japan verfügbar.

Chinas Manhattan-Projekt: Fake-IDs und Millionen-Boni

Der Durchbruch markiert den Höhepunkt einer sechsjährigen Regierungsinitiative zur Halbleiter-Selbstversorgung – eine der höchsten Prioritäten von Präsident Xi Jinping. Während Chinas Halbleiterziele öffentlich sind, läuft das Shenzhen-EUV-Projekt im Geheimen. Es fällt unter die Halbleiterstrategie des Landes, die laut Staatsmedien von Xi-Vertrautem Ding Xuexiang geleitet wird, der die Zentrale Wissenschafts- und Technologiekommission der Kommunistischen Partei führt.

Der Elektronikriese Huawei spielt eine Schlüsselrolle bei der Koordination eines Netzes von Unternehmen und staatlichen Forschungsinstituten im ganzen Land, an dem Tausende Ingenieure beteiligt sind. Die Quellen beschreiben es als Chinas Version des Manhattan-Projekts, der US-Kriegsanstrengung zur Entwicklung der Atombombe.

„Das Ziel ist, dass China letztendlich in der Lage sein wird, fortschrittliche Chips auf Maschinen herzustellen, die vollständig in China hergestellt werden“, sagt eine der Personen. „China will, dass die Vereinigten Staaten zu 100% aus seinen Lieferketten ausgeschlossen werden.“

Ein erfahrener chinesischer ASML-Ingenieur, der für das Projekt rekrutiert wurde, war überrascht, dass sein großzügiger Signing-Bonus mit einem Ausweis unter falschem Namen kam. Einmal drinnen, erkannte er andere ehemalige ASML-Kollegen, die ebenfalls unter Pseudonymen arbeiteten, und wurde angewiesen, deren falsche Namen zu verwenden, um die Geheimhaltung zu wahren. Die Anweisung war klar: Unter nationale Sicherheit klassifiziert, durfte niemand außerhalb des Geländes wissen, was sie bauten – oder dass sie überhaupt dort waren.

420.000 bis 700.000 Dollar pro Kopf

Die Rekrutierung der ASML-Veteranen machte den Durchbruch in Shenzhen erst möglich. Ohne ihr intimes Wissen über die Technologie wäre das Reverse Engineering der Maschinen nahezu unmöglich gewesen. Ihre Anwerbung war Teil einer aggressiven Kampagne, die China 2019 für Halbleiter-Experten im Ausland startete und Signing-Boni von 3 bis 5 Millionen Yuan (420.000 bis 700.000 Dollar) sowie Hauskauf-Zuschüsse bot.

Das Team umfasst kürzlich pensionierte, in China geborene ehemalige ASML-Ingenieure und Wissenschaftler – bevorzugte Rekrutierungsziele, weil sie über sensibles technisches Wissen verfügen, aber nach dem Ausscheiden aus dem Unternehmen weniger berufliche Einschränkungen haben. Zwei aktuelle ASML-Mitarbeiter chinesischer Nationalität in den Niederlanden berichten, seit mindestens 2020 von Huawei-Recruitern angesprochen worden zu sein.

Zu den Rekrutierten gehört Lin Nan, ASMLs ehemaliger Leiter der Lichtquellentechnologie, dessen Team an der Chinesischen Akademie der Wissenschaften in Shanghai in 18 Monaten acht Patente zu EUV-Lichtquellen anmeldete. Einige eingebürgerte Bürger anderer Länder erhielten chinesische Pässe und durften die doppelte Staatsbürgerschaft behalten – obwohl China offiziell die doppelte Staatsbürgerschaft verbietet.

Europäische Datenschutzgesetze begrenzen ASMLs Fähigkeit, ehemalige Mitarbeiter zu verfolgen. ASML gewann 2019 ein Urteil über 845 Millionen Dollar gegen einen ehemaligen chinesischen Ingenieur, dem Diebstahl von Geschäftsgeheimnissen vorgeworfen wurde, doch der Beklagte meldete Insolvenz an und operiert weiterhin in Peking mit chinesischer Regierungsunterstützung.

Reverse Engineering im Industriemaßstab

ASMLs fortschrittlichste EUV-Systeme sind etwa so groß wie ein Schulbus und wiegen 180 Tonnen. Nach gescheiterten Versuchen, diese Größe zu replizieren, wurde der Prototyp im Shenzhen-Labor um ein Vielfaches größer, um seine Leistung zu verbessern. Der chinesische Prototyp ist im Vergleich zu ASMLs Maschinen rudimentär, aber betriebsfähig genug für Tests.

Chinas Prototyp hinkt ASMLs Maschinen hauptsächlich hinterher, weil Forscher Schwierigkeiten hatten, Optiksysteme wie jene des deutschen Unternehmens Carl Zeiss zu beschaffen, einem von ASMLs Schlüsselzulieferern. Die Maschinen feuern Laser 50.000-mal pro Sekunde auf geschmolzenes Zinn und erzeugen Plasma bei 200.000 Grad Celsius. Das Licht wird mit Spiegeln fokussiert, deren Herstellung Monate dauert.

Chinas führende Forschungsinstitute spielten Schlüsselrollen bei der Entwicklung heimischer Alternativen. Das Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics an der Chinesischen Akademie der Wissenschaften (CIOMP) erzielte einen Durchbruch bei der Integration von Extrem-Ultraviolettlicht in das optische System des Prototyps, wodurch dieser Anfang 2025 betriebsbereit wurde – obwohl die Optik noch erhebliche Verfeinerung erfordert.

Um die erforderlichen Teile zu erhalten, verwertet China Komponenten älterer ASML-Maschinen und beschafft Teile von ASML-Zulieferern über Sekundärmärkte. Netzwerke von Vermittlungsunternehmen werden manchmal eingesetzt, um den letztendlichen Käufer zu verschleiern. Exportbeschränkte Komponenten von Japans Nikon und Canon werden für den Prototyp verwendet. Internationale Banken versteigern regelmäßig ältere Halbleiter-Fertigungsausrüstung – Auktionen in China verkauften noch im Oktober 2025 ältere ASML-Lithografie-Ausrüstung.

Ein Team von rund 100 frischgebackenen Universitätsabsolventen konzentriert sich auf das Reverse Engineering von Komponenten sowohl aus EUV- als auch DUV-Lithografie-Maschinen. Der Schreibtisch jedes Mitarbeiters wird von einer individuellen Kamera gefilmt, um ihre Bemühungen zu dokumentieren, Teile zu zerlegen und wieder zusammenzubauen. Mitarbeiter, die eine Komponente erfolgreich wieder zusammensetzen, erhalten Boni.

„Technisch machbar, nur eine Frage des Zeitplans“

Jeff Koch, Analyst bei SemiAnalysis und ehemaliger ASML-Ingenieur, erklärt, China werde „bedeutenden Fortschritt“ erzielt haben, wenn „die Lichtquelle genug Leistung hat, zuverlässig ist und nicht zu viel Kontamination erzeugt“. „Kein Zweifel, dies ist technisch machbar, es ist nur eine Frage des Zeitplans“, sagt er. „China hat den Vorteil, dass kommerzielles EUV jetzt existiert, also fangen sie nicht bei Null an.“

China steht vor erheblichen technischen Herausforderungen, insbesondere bei der Replikation der Präzisions-Optiksysteme westlicher Zulieferer. Die Regierung setzte das Ziel, bis 2028 funktionierende Chips auf dem Prototyp zu produzieren. Projektnahe Quellen nennen 2030 als realistischeres Ziel – immer noch Jahre früher als das Jahrzehnt, das Analysten China für den Anschluss an den Westen prognostizierten.

Huaweis koordinierende Rolle: Schlafen vor Ort, keine Telefone

Während das EUV-Projekt von der chinesischen Regierung geleitet wird, ist Huawei in jeden Schritt der Lieferkette involviert – vom Chip-Design über Fertigungsausrüstung bis zur Herstellung und finalen Integration in Produkte wie Smartphones. CEO Ren Zhengfei informiert hochrangige chinesische Führungskräfte über den Fortschritt.

Die USA setzten Huawei 2019 auf eine Entity-Liste und verboten amerikanischen Unternehmen ohne Lizenz Geschäfte mit ihnen. Huawei hat Mitarbeiter in Büros, Fertigungsanlagen und Forschungszentren im ganzen Land für die Anstrengung eingesetzt. Mitarbeiter, die Halbleiter-Teams zugeteilt sind, schlafen oft vor Ort und dürfen während der Arbeitswoche nicht nach Hause zurückkehren. Der Telefonzugang ist für Teams, die sensiblere Aufgaben bearbeiten, eingeschränkt.

Innerhalb von Huawei kennen wenige Mitarbeiter den Umfang dieser Arbeit. „Die Teams werden voneinander isoliert gehalten, um die Vertraulichkeit des Projekts zu schützen“, sagt eine der Personen. „Sie wissen nicht, woran die anderen Teams arbeiten.“